光刻机是什么?造一台有多难?
光刻机是制造集成电路中非常重要的设备,特别是现在市面上大部分的芯片都是属于电子芯片,当电子芯片的工艺小于一定的尺寸的时候,就必须依靠光刻机在制作芯片,也就是说如果没有光刻机就没有办法制造出顶级的芯片,比如市面上7nm芯片、5nm芯片等都不可能造出。而芯片在生活中是非常重要的,比如电脑、手机等电子产品都少不了。
光刻机的制造难度
光刻机制造难度之大可以用荷兰ASML公司的一句话来表示,对方表示就算把光刻机的图纸拿出来,我们也制造不出光刻机。且不说对方是不是小看了中国制造,从侧面也反映出了光刻机的制作难度之大。因为现在还没有一个国家可以独立的制造出顶级的光刻机,就算是现在行业领先的ASML公司制造出来的光刻机,也是集合了十几个国家的顶尖技术。
一台小小的光刻机上面就有十几万的小零件,而且为了让光刻机可以领先,所有的零部件都是采用了全世界最领先的技术,所以说光刻机从插头、配件等都是选用了其他国家的顶尖技术,这相当于全世界的技术融合在一起才可以制造出顶级的光刻机,而且ASML公司背后有台积电、三星以及英特尔这样顶尖的企业投资支持,也是花了几十年的时间才有今天的成绩。
ASML光刻机
荷兰的ASML光刻机基本上都是供不应求,中国也一直想要购买,但是现在还没有收到货。ASML的光刻机基本上都是内部消化了,毕竟台积电、三星以及英特尔本来就是芯片大户,台积电能够在芯片代工领域有今天的成绩,跟手上有这么多的光刻机也有很大的关系。
光刻机是什么东西?
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等,是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术,把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
光刻机的品牌众多,根据采用不同技术路线的可以归纳成如下几类:
高端的投影式光刻机可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,世界上已有1.2亿美金一台的光刻机。高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。
国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的高端光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机,形成产品系列初步实现海内外销售。正在进行其他各系列产品的研发制作工作。
生产线和研发用的低端光刻机为接近、接触式光刻机,分辨率通常在数微米以上。主要有德国SUSS、美国MYCRO NXQ4006、以及中国品牌。
都说要提高我国的光刻机技术,那这是一种怎样的技术呢?
光刻机到底是个什么东西?这个东西简单来说它就是刻画芯片的一个东西,我们手机电脑包括汽车电视它里面都离不开芯片,只不过就是芯片的功能个位相同,但是你可以把芯片理解为一个人的大脑这个芯片的精度越高,拿这个大脑就越聪明。
这个芯片的刻画就离不开光刻机,我们可以把光刻机上面一个又一个的小晶体理解为人的细胞就是人的大脑细胞,这个细胞越多人自然越聪明,但是一个芯片它本身的体积是有限的呀,手机就这么大个,你总不能做个1米×1米的芯片吗?那不现实的,而且他的能源流转资源消耗也太多了,所以要在尽可能小的范围之内刻画出足够多的能够容纳类似于人体脑细胞一样的这个存在。
刻画的越多,同样的体积要容纳更多的人更多的细胞,那是不是就要这个细胞的体积尽可能的小一点,让他们彼此之间的间隔变得更小一点,本来芯片的体积就已经够小了,你还要让它变得更小,那你就需要更高精度的光刻机,这就直接决定了芯片的制造基础是如何的,因为芯片研发是一回事,生产又是一回事,只能研发不能生产,那你仍然摆脱不了国外对你的限制,就比如说华为它是具备自己芯片的研发能力的,但是因为没有高端的光刻机,自己不能生产。
所以我们需要更加高端的光刻机,现在我国有的应该是在14纳米左右这个光刻机不足以满足日常的使用,你现在所使用的天级1200,骁龙865,甚至说骁龙888,它基本都是5纳米6纳米7纳米这样一个程度的,所以我们还有很大的差距,我们还是要继续努力,而且也不能盲目自信,我们应该对国产的公司有信心,但是盲目的信心是不行的,未来5~10年之内我们能够赶上去,并且走到一个世界光刻机领域相当靠前的位置,这就算是发展不错的。
光刻机到底是做什么东西的?
光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System.
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);
在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。
光刻机是不是就是我们平时电脑上用的光盘刻录机呀,刻CD用的?
当然不是,现在常说的光刻机主要用在芯片制造,这个名字只是俗称,学名是掩膜曝光机,原理类似照片冲洗,把掩膜上的电路图形通过光线曝光印制在硅片上,形成微电路。
光刻机的生产集合了全世界最尖端的黑科技,其中很大一部分技术我国跟世界前列的国家或企业是存在代差的,这个代差甚至在10年以上,所以跟光盘刻录机不是一个类型的东西。
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